1、檢測操作前的準(zhǔn)備
(1)判斷規(guī)定的被檢微粒的粒徑是否在5級粒徑限值之內(nèi)。0.3um和0.5um介于0.1um和5um之間,所以規(guī)定的被檢微粒在5級粒徑限值之內(nèi)。
(2)判斷規(guī)定的被檢微粒相鄰的較大粒徑是否不小于較小粒徑的1.5倍。
0.3*1.5=0.45,0.5>0.45,符合要求。
(3)計(jì)算微粒最大允許濃度,計(jì)算公式為:
計(jì)算結(jié)果:
1)對于粒徑不小于0.3um的微粒,最大允許濃度為10200pc/m3。
2)對于粒徑不小于0.5um的微粒,最大允許濃度為3520pc/m3。
(4)計(jì)算最少采樣點(diǎn)數(shù)。計(jì)算結(jié)果:最少采樣點(diǎn)數(shù)為9個。
(5)計(jì)算單次測定的最少采樣量,計(jì)算結(jié)果:
對于不小于0.3um的微粒,a=10200pc/m3,代入公式:
檢測如下:
2、數(shù)據(jù)處理
因?yàn)椴蓸狱c(diǎn)數(shù)小于10,所以應(yīng)該考慮95%置信度的微粒濃度的上限。
(1)每個采樣點(diǎn)的平均值。每個采樣點(diǎn)只采樣一次,所以每個采樣點(diǎn)的一次測得值可以作為該點(diǎn)的平均值。
(2)總平均值
1)對于不小于0.3um的微粒:總平均值為6349 pc/m3。
2)對于不小于0.5um的微粒:總平均值為706 pc/m3。
(3)采樣點(diǎn)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差
1)對于不小于0.3um的微粒:2154
2)對于不小于0.5um的微粒:382
(4)計(jì)算置信上限。置信度取95%,采樣點(diǎn)數(shù)m=9,從t分布表中查出t值為1.9。
1)對于不小于0.3um的微粒:
2)對于不小于0.5um的微粒:
3、檢測結(jié)果的判斷
1)對于不小于0.5um的微粒,a=3520pc/m3,代入公式:
4、檢測操作
(1)根據(jù)檢測條件要求,可選用28L/min光散射氣浮微粒測定儀進(jìn)行檢測。
(2)每個采樣點(diǎn)只采樣一次,檢測結(jié)果見下表。每點(diǎn)測得的微粒數(shù)值均滿足潔凈度級微粒數(shù)均滿足潔凈度級別的要求,95%置信的微粒濃度的上限也滿足潔凈度級別的要求,所以該潔凈室的級別度符合要求。