（一）凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分原則
1、潔凈度，溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。
2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個系統(tǒng)，可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉。
3、有條件時可將 4 級、5 級單向流和 6 級、7 級、8 級非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。
4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個系統(tǒng)。
5、使用規(guī)律和使用時間不相同的潔凈室不宜合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。
6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨設(shè)計為一個系統(tǒng)。
7、混合后會產(chǎn)生毒、引起火災(zāi)和爆炸的房間不應(yīng)合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。
8、有毒和易燃易爆的甲、乙類房間應(yīng)單獨設(shè)系統(tǒng)，而且應(yīng)為不回風的直流系統(tǒng)。
9、一個凈化空調(diào)系統(tǒng)不易過大。一般情況下，凈化送風量不宜超過 100,000 m否則空氣處理設(shè)備過大、噪聲大、送回風管道大、占空間和面積大，使用也不靈活。
10、凈化空調(diào)系統(tǒng)劃分時還應(yīng)考慮到送風管、回風管、排風管以及水,電,氣等管線的布置，盡量作到合理、短捷、使用管理方便，盡量減少交叉和重疊。
11、凈化空調(diào)系統(tǒng)新風的熱濕和凈化處理可集中也可分散設(shè)置。
（二）工藝設(shè)備局部排風系統(tǒng)的劃分原則
1、工藝設(shè)備的局部排風系統(tǒng)不宜過大，每個排風系統(tǒng)的排風點數(shù)不宜過多，這樣排風管理調(diào)節(jié)方便，排風效果好。
2、一個排風系統(tǒng)不宜跨在兩個或兩個以上的凈化空調(diào)系統(tǒng)。
3、混合后產(chǎn)生毒、爆炸、火災(zāi)、凝水、結(jié)晶和有害物的排風不應(yīng)合為一個排風系統(tǒng)。
4、使用規(guī)律不同房間和設(shè)備的排風不應(yīng)合為一個排風系統(tǒng)。
（三）潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)送風型式的比較選擇
（1）凈化送風和空調(diào)送風合一的送風形式，通常也稱作集中式送風形式。此方案的凈化空調(diào)機組（空氣處理機組 AHU）集中設(shè)置在空調(diào)機房內(nèi)，全部的凈化空調(diào)送風均在凈化空調(diào)機組內(nèi)進行凈化和熱、濕處理，然后由龐大的送風管道將全部的送風輸送到潔凈室的吊頂上部，再經(jīng)過設(shè)在潔凈室吊頂上的終端過濾器或過濾器送風口過濾后送到潔凈室內(nèi)，來實現(xiàn)潔凈室工藝生產(chǎn)所需要的溫度、濕度、潔凈度和房間的壓差，潔凈室的回風經(jīng)回風口、回風管再接回到空調(diào)機房的凈化空調(diào)機組內(nèi)與新風混合后重復(fù)進行凈化和熱、濕處理。此方案又可分為全新風送風方案（直流系統(tǒng)）；一次回風方案；一、二次回風方案和(MAU)加(FFU)方案等四種不同的凈化空調(diào)送風型式。這種送風方案是當前潔凈室特別是非單向流潔凈室應(yīng)用廣泛的凈化空調(diào)送風方案。這種送風方案的系統(tǒng)劃分明確，風量和溫、濕度控制調(diào)節(jié)都單一。但是潔凈度級別較高、送風量較大時，存在著空調(diào)機房占面積大，送、回風管體積大占面積和占空間大，送、回風管道長，送風機的余壓高，噪音大,風量輸送耗電量大等問題。因此，這種送風方案較適用在低級別的非單向流潔凈室的送風，對 5 級以上的單向流潔凈室送風就不太經(jīng)濟合理了。
1.AHU 全新風的凈化空調(diào)送風方案（直流系統(tǒng)）
全新風凈化空調(diào)送風方案是用于特殊的不允許回風的潔凈室的送風方案中。如：潔凈室內(nèi)工藝生產(chǎn)類別為甲、乙類火災(zāi)危險等級或工藝過程產(chǎn)生有毒等有害物不允許回風的潔凈送風系統(tǒng)中。
2.AHU 一次回風的凈化空調(diào)送風方案
一次回風的送風方案多用在潔凈室內(nèi)的發(fā)熱量或產(chǎn)濕量很大，消除室內(nèi)余熱或余濕的送風量大于、等于或近于凈化送風量的低潔凈度等級的非單向流潔凈室中。
3.AHU 一、二次回風的凈化空調(diào)送風方案
為了節(jié)能、消除空氣熱濕處理過程中的冷熱相互抵消，在潔凈室凈化送風量大于其消除余熱、余濕的空調(diào)送風量時，宜采用一、二次回風方案，將二次混合點設(shè)計在系統(tǒng)送風點上,該方是節(jié)能、經(jīng)濟的送風方案。
4.MAU+RAU 的凈化空調(diào)送風方案
此方案多用于多個潔凈室其潔凈度，溫、濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近，為了確保每個潔凈室的潔凈度，溫、濕度及其精度的要求，就要設(shè)置多個循環(huán)機組，循環(huán)機組的送風量是凈化送風量，并且在機組內(nèi)設(shè)置必要的熱、濕處理設(shè)備，用來補充新風機組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。由于循環(huán)機組設(shè)在潔凈室的吊頂上面，循環(huán)機組的送風余壓相對都較小，機組體積和機組噪聲、振動也較小，送回風管也比較短??；但是，要注意循環(huán)機組的凝結(jié)水排放問題，往往這種方案的問題都出在凝結(jié)水排放的處理上。此方案的新風機組設(shè)在空調(diào)機房內(nèi)，這些潔凈室所需的新風全部由新風機組（MAU）進行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個循環(huán)機組內(nèi)與其回風混合。新風機組的新風量不僅僅要補充各潔凈室的排風還要保證每個潔凈室的正壓。
（二）凈化送風和空調(diào)送風分離的方案，此方案通常被稱作半集中式或分散式的送風方案。為了大大地節(jié)省運行時的能耗，將消除潔凈室內(nèi)余熱、余濕的空調(diào)送風量（通常大大地小于潔凈室的凈化送風量），由設(shè)在空調(diào)機房內(nèi)的新風機組(MAU)進行必要的凈化和熱濕處理，而將占總送風量 50~90%的保證潔凈室潔凈度的凈化送風量由設(shè)在潔凈室附近的循環(huán)機組進行凈化和補充的熱、濕處理，或直接采用吊頂上的 FFU（風機過濾器機組）和干盤管來解決潔凈室的潔凈度等級和溫度的微調(diào)節(jié)。此種凈化送風與空調(diào)送風相分離的送風方案，不僅可節(jié)省運行的能耗，而且大大地減少了空調(diào)機房面積，省掉了龐大的送、回風管道，降低了潔凈室的空間高度。此種凈化空調(diào)送風方案又可分為：空調(diào)機組(AHU)加風機過濾器機組(FFU)方案,新風機組（MAU）加循環(huán)機組（RAU）加（FFU）方案；新風機組（MAU）加風機過濾器機組（FFU）加干冷盤管(DC)方案等三種送風方案。
1．空調(diào)機組 AHU(MAU）加風機過濾器機組（FFU）的凈化空調(diào)送風方案
此方案中凈化空調(diào)系統(tǒng)的全部熱、濕負荷（潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的熱、濕負荷及新風的熱、濕負荷）全部由設(shè)在空調(diào)機房內(nèi)的空調(diào)機組來負擔。此時，空調(diào)機組的送風量是消除本系統(tǒng)余熱、余濕的空調(diào)送風量（其中包括全部新風和部分回風，但遠遠小于保證潔凈室潔凈度等級的凈化送風量），它應(yīng)能確保潔凈室內(nèi)的溫度和相對濕度的恒定。而該潔凈室的潔凈度由設(shè)在潔凈室吊頂上的風機過濾器機組（FFU）將凈化送風量就地循環(huán)過濾來保證。此方案中應(yīng)該注意的是，F(xiàn)FU 運行過程中所產(chǎn)生的熱量也應(yīng)由空調(diào)機組來承擔。此方案更適合用于在大面績非單向流潔凈室內(nèi)有局部的垂直單向流的混合流潔凈室中。
2．新風機組（MAU）加循環(huán)機組（RAU）加風機過濾器單元（FFU）凈化空調(diào)送風方案
此方案多用于多個潔凈室其潔凈度，溫、濕度要求不同，室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近，為了確保每個潔凈室的潔凈度，溫、濕度及其精度的要求，就要設(shè)置多個循環(huán)機組,循環(huán)機組的送風量是凈化送風量，并且在機組內(nèi)設(shè)置必要的熱、濕處理設(shè)備,用來補充新風機組熱、濕處理的不足和保證該潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。由于循環(huán)機組設(shè)在潔凈室的吊頂上面，循環(huán)機組的送風余壓相對都較小，機組體積和機組噪聲、振動也較小，送回風管也比較短??；但是，要注意循環(huán)機組的凝結(jié)水排放問題，往往這種方案的問題都出在凝結(jié)水排放的處理上。此方案的新風機組設(shè)在空調(diào)機房內(nèi)，這些潔凈室所需的新風全部由新風機組（MAU）進行凈化和熱濕的集中處理。然后分配到每一個循環(huán)機組內(nèi)與其回風混合。新風機組的新風量不僅僅要補充各潔凈室的排風還要保證每個潔凈室的正壓。當多個潔凈室中有若干個 1 級、10 級、100 級等高凈化級別的垂直單向流潔凈室時，為了減少循環(huán)機組（RAU）的負擔和送、回風管道的斷面，此時循環(huán)機組僅解決該單向流潔凈室的空調(diào)送風量，以保證潔凈室的溫度、相對濕度和潔凈室的正壓，而占 90％以上的絕大部分送風量有設(shè)在潔凈室吊頂上的 FFU 來負擔，以保證潔凈室的高潔凈度的級別。
3．新風機組（MAU）加風機過濾器機組（FFU）加干冷盤管(DC)的凈化空調(diào)送風方案
此方案是新風機組將新風處理到潔凈室相對濕度 95%線交點以下，新風機組不僅將本身的濕負荷去掉，而且還負擔潔凈室內(nèi)產(chǎn)生的濕負荷，新風機組要確保潔凈室所需要的相對濕度。而新風機組熱處理不足部分的干冷負荷將由設(shè)在潔凈室吊頂上（或夾道內(nèi)）的干表冷器來補充。因干表冷器是設(shè)在 FFU 循環(huán)空氣通過的吊頂上或夾道內(nèi)，因此，干表冷所彌補的干冷負荷被循環(huán)空氣帶到潔凈室內(nèi)。由新風機組處理過的新風用管道以能與FFU 循環(huán)空氣均勻混合的方式送到潔凈室的送風靜壓箱內(nèi)。
FFU布置在潔凈室的吊頂上，與新風混合的循環(huán)風經(jīng) FFU 被過濾器過濾后送到潔凈室內(nèi)，以保證潔凈室的潔凈度。FFU 的規(guī)格以 1200mm×600mm 和 1200mm×1200mm 居多，其斷面風速應(yīng)為≥0.45m/s，余壓應(yīng)≥120Pa，噪聲應(yīng)≤50dB(A)為好。FFU 的風機風量應(yīng)可調(diào)，過濾器應(yīng)可更換。干冷盤管一般由雙排組成，為了減小阻力鋁翅片間距≥3mm，阻力損失應(yīng)為 30~40Pa，循環(huán)風通過干盤管的面風速<2m/s，宜為1.5m/s。進入干盤管冷水的進水溫度應(yīng)高于潔凈室露點溫度 2℃,通常稱為中溫冷凍水。雖然叫干盤管，但在起始運行時還可能有凝結(jié)水產(chǎn)生，因此干盤管還應(yīng)有凝結(jié)水滴水盤和排水措施。此方案中，潔凈室的相對濕度由新風機組（MAU）來保證，潔凈室的溫度由干冷盤管來保證，潔凈室的潔凈度由 FFU 來保證。這種 MAU 加 FFU 加 DC 的凈化空調(diào)送風方案，目前在我國和外國的微電子（集成電路）工業(yè)、光電子（TFT-LCD、LCD、LED 等）工業(yè)等大面積、高潔凈度等級的潔凈廠房中得以廣泛應(yīng)用，它具有調(diào)節(jié)方便，節(jié)能顯著，適應(yīng)工藝的更新?lián)Q代，又大大地節(jié)省了非生產(chǎn)面積和非生產(chǎn)空間的優(yōu)點。而且，隨著潔凈技術(shù)和潔凈設(shè)備的不斷發(fā)展和進步，F(xiàn)FU風機的效率不斷提高，耗電量不斷降低，整體價格不斷下降，其初投資也與其他類型的送風方案基本持平，但運行費卻大大節(jié)省。